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      流量控制器

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      MFC501氣體質量流量控制器

      MFC501氣體質量流量控制器

      • 所屬分類:氣體流量控制器
      • 瀏覽次數:
      • 發布日期:2022-01-04 15:14:46
      • 產品概述

      產品簡介:


      型號:MFC501應用領域:——分析儀器 
              ——干刻(RIE/DRIE)——生物技術 
              ——氣象色譜分析——激光焊機


      產品特征:


      高精度,高穩定性,快響應,小體積。


      產品簡介:


      型號:MFC501


      應用領域:


      ——分析儀器                             ——干刻(RIE/DRIE)

      ——生物技術                             ——氣象色譜分析

      ——激光焊機                             ——過程自動化

      ——真空鍍膜                             ——燃料電池


      產品特性:


      ◆無可移動部件

      ◆支持多種通訊協議

      ◆容易安裝及維護

      ◆高精度、高穩定性、非常低的零漂

      ◆可控多種氣體

      ◆可配控制器

      ◆產品低功耗


            機械尺寸:


      流量控制器


      技術指標:


            流量規格:0~20,30,50,100,150,200,275SLM

      準 確 度:±1.5%F.S.

      線 性 度:<±1%F.S.

      重復精度:±0.2%F.S.

      響應時間:<1S

      工作壓差:0~0.8MPa

      耐壓:3MPa

      環境溫度:5-55℃

      電氣連接:Db15

      輸出信號:0~5V、4~20mA

      電      源:±15V或者15~28V

      流量調節范圍:2~100F.S

      漏      率:<1*10-7Pa*m3/s

      溫度系數:<0.1%F.S/℃

      外形尺寸:106*36*138

      重      量:2.0Kg


      電氣連接:DB15


      流量控制器

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